本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況

本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況，以便硅材料的切割和。

    為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展，別是計算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展，越來越多的使用到了大直徑、純度、均勻度更的單晶硅材料。目前，在美、德等的業(yè)家，均采用了二探針法，使用二探針檢測儀來測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。

儀器符合美ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測量硅單晶試驗方法》的標(biāo)準(zhǔn)，是種新型的半導(dǎo)體電阻率測試儀，適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法測量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率，從而步判斷半導(dǎo)體材料的性能，導(dǎo)和監(jiān)視操作，也可以用來測量金屬材料的電阻，儀器具有測量度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、型美觀等點。也可以配四探針測試頭作常規(guī)的四探針法測量硅晶體材料。

    儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三分，儀表電氣控制箱由靈敏度直數(shù)字電壓表、抗干擾隔離性能的電源變換裝置、穩(wěn)定度恒源和電氣控制分組成。測量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示，零位穩(wěn)定、輸入阻抗，并設(shè)有自校能。在棒狀材料使用二探針法測試時，具有系數(shù)修正能，從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù)，可以直接讀出電阻率，使用方便。測試臺結(jié)構(gòu)新穎，型美觀，可以方便地固定好大小意尺寸的樣品，并可以作逐點選擇步測量，也可以自由選擇固定位置測量，電活動自如，具備鎖定裝置，方便重復(fù)測量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅，測試探頭能自動升降，探針為碳化鎢材料，配置寶石軸承，具有測量度、游移率小、耐磨、使用壽命長點。同時探頭壓力恒定并且可調(diào)整，以適合不同的材料。